4.高精度・高信頼を実現する薄膜抵抗

4.1 薄膜チップ抵抗器の特性は長期安定

■薄膜チップ抵抗器は、スパッタリングやプラズマCVDなどの成膜方法による均一な抵抗膜と耐環境に優れた保護膜を採用することで高信頼性・高安定を実現しています。

■電流が均一で、スムーズに流れ、長期安定性も確保できます。

長所

・高精度で抵抗温度係数が小さい。
・電流集中が無く、特性が安定し経時ドリフトが少ない。

車載、FA産業機器分野

4.2 薄膜チップ抵抗器はローノイズ

4.3 薄膜抵抗器の高周波特性

高周波では電子はその表面を移動する”表皮効果”がおこります。
薄膜では膜厚が数十ナノメーターと薄いために高周波領域でも
表皮効果の影響を受けにくい安定した特性を示す特徴をもった抵抗器です。

表皮効果とは、導体に交流電流が流れている時、導体の表面に電流が集中し、
電流が流れにくくなる現象で周波数が高くなるに従って表皮効果の影響が出やすくなります。

4.4 薄膜抵抗器の電極強度

弊社の薄膜抵抗は端面電極にもスパッタリング工法を採用しています。
これによりセラミック素材との電極強度が極めて安定しています。

4.5 薄膜抵抗器の電圧印加耐性

金属薄膜を基板上に成膜すると微小な島状の核が形成され
それらが成長していく過程で互いに接触することで連続膜が
形成されます。このモノシリック構造(金属原子連続膜）
により電圧印加による抵抗膜のダメージを受けにくく破壊に至る
までの抵抗値変化率が少ない特徴が見られます。

4.6 薄膜抵抗のパターン形成技術

薄膜抵抗は半導体の形成プロセスと同様のフォトリソグラフィー技術によって形成されます。
この形成方法により高精度なパターン形成が可能となり小型で微細な抵抗膜形成が可能となります。